產品介紹
LDI全自動內外層
Gemini G25DAT/G40DAT/G50DAT
LDI全自動內外層
適用內/外層乾膜製程
大尺寸曝光面積
高產速/自動線
高對位精度
*12頭光機請參考Gemini G25DPAT/G40DPAT/G50DPAT*
規格資料
| 項次 | 規格 |
|---|---|
| G25DAT解析能力 | 25/25 |
| G40DAT解析能力 | 40/40 |
| G50DAT解析能力 | 50/50 |
| - | - |
| 光源 | 雷射激光 |
| 曝光面積 | 625 × 812mm |
| 光機數 | 6 |
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