產品介紹
LED光源單機內外層
SEMI X10
LED光源單機內外層
MASP
適用內/外層乾膜製程
高產速
高對位精度
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規格資料
| 項次 | 規格 |
|---|---|
| 解析能力 | 10/10 |
| 光源 | UV LED |
| 曝光面積 | 300x300mm |
| 光機數 | 2 |
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