產品介紹
LDI單機內外層
Gemini G25D/G40D/G50D
LDI單機內外層
適用內/外層乾膜製程
大尺寸曝光面積
高產速
高對位精度
*12頭光機請參考Gemini G25DP/G40DP/G50DP*
規格資料
| 項次 | 規格 |
|---|---|
| G25D解析能力 | 25/25 |
| G40D解析能力 | 40/40 |
| G50D解析能力 | 50/50 |
| - | - |
| 光源 | 雷射激光 |
| 曝光面積 | 625 × 812mm |
| 光機數 | 6 |
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